所以，系统方面完全不需要担心。

当然，卷耳智能科技既然出手了，28nm肯定不会是终点。

组装这个级别的光刻机，那就是试试水，顺便锻炼一下团队。纪弘的最终目标肯定是EUV。

纪弘不清楚EUV的三大件和若干小件，国内企业和研究机构的进展，但他的思路很简单，那就是：关门，放AI！

简单来说就是，哪个零部件还满足不了EUV光刻机的需求，那就给哪个零部件的研究机构训练一个工业AI专门去发现问题去提升。

比如：高端镜头无法满足需求，是外观的精准度和精度不够？还是内部质量和光学指标不满足需求？

那就针对性的去改良和优化机械加工和光学加工工艺。

哪怕是不断的调整各种产线的参数，通过AI计算筛选出最优选择，都是一个极佳的方法。

其他各种零部件，其实大同小异。

交代完了陈继业，纪弘还联系了刘向东院士说明了一下情况。

刘向东院士也是很诧异：“你们决定自己做光刻机了？我了解了一下沪微的情况，他们对合作不热衷，原因是他们认为自己已经到了最后时刻，马上就能实现量产和交付，自己就能搞定。”

“不管什么原因吧，”纪弘也不纠结这些：“都不重要，重要的是，刘院士有没有兴趣到鼎佳来做个一个兼职？没什么要求，没事儿去看看就行。”

“这……”刘向东院士有些犹豫。

“我这几天一直在华东工厂，”纪弘说道：“我们利用灵犀重构了产线的光刻机系统并又花了生产工艺，将14nm工艺产线的良率提高到了97%！

“四重曝光5nm工艺，利用同样的技术预计也能够提升至65%以上。”

“你们重构了阿斯麦光刻机的整机控制系统？”