芯片的制程已经到了1微米,哪怕有一片灰尘落在芯片上,也可能会造成芯片内部短路,所以,芯片车间对洁净度的要求都是最高的。
双层房间,空调净化过滤系统都有,内部空间干净整洁,不用说一根头发,一个灰尘都没有。
“我们从起始线参观,大家看到的这第一台机器就是单晶炉,它负责把多晶硅冶炼成为单晶硅,拉出来硅棒,然后切片,这套设备是我们国内四十八所研发的。”
虽然芯片是由沙子制造的,但是先进的芯片厂一般都不会从沙子开始冶炼,沙子到粗硅有专门的企业负责,芯片厂只要将多晶硅融化拉单晶,制造出来硅棒就可以了。
这种单晶炉也是很有特色的,下面是个粗圆柱体结构,上面是个细圆柱体,拉出来的单晶硅就从上面抽出来,上面这个圆柱体的内径,就是晶圆的直径,看这种机器的样子,应该是最常见的6英寸硅棒。
一共四台炉子,一字排开,就像是四个大锅炉,看上去很是壮观。
“四十八所是咱们国内主要的半导体设备供应单位,他们以前就在造单晶炉,只是没有这么大的。”贲老看向单晶炉,目光中满是感慨:“等咱们所要更新设备的时候,也从他们那边弄一台!”
“这边是切片机和抛光机,这些机器设备,都是咱们国内四十五所研制的。”倪老继续介绍:“他们原本只有切割三英寸硅棒的设备,接到咱们的订单之后,投入了全部技术骨干力量搞研发,终于按时给咱们研制了出来。加上研发费用,也比从国外采购便宜。”
硅棒拉出来,就是切片变成晶圆,然后打磨,为在上面刻蚀电路做准备。
接下来是低压化学气相淀积、等离子体增强化学气相淀积装置,经过这些装置之后,晶圆表面就覆盖上薄膜材料,等待下一步的刻蚀,这些设备则是首都仪器厂和首都几所大学共同研发出来的。
晶圆经过了这些步骤,完成了准备,就可以上光刻机了。
其他的设备虽然也是高科技,但是要论科技含量,比不上光刻机,这东西是芯片制造的关键。
两台大型光刻机摆在车间的中央,徐教授带着几名技术人员,正在上面忙碌着,秦锋等人过来的时候,依旧没有停下手里的工作。
“徐教授,有人来参观,你给大家伙讲讲?”倪老开口。
“想看自己看,我没空!”徐教授头都不抬。
“好啊,有性格,比咱老林的脾气还大。”林老在一旁感慨:“不过合咱老林的胃口,如果有领导来参观,就屁颠屁颠地出来迎接,那种肯定是没本事的人。”
听到林老这样说,徐教授这才抬起头来,看了林老一眼:“你能说出这种话来,也算是个有见识的领导,哼,最近总有人要来参观,咱们这里是芯片生产厂,又不是旅游景点,老倪,不是我说你,不该带的人,就别乱带进来,影响咱们工作。”
别看倪老在这里是负责人,徐教授可从来都不鸟他,你老老实实负责设计芯片就行了,这芯片的生产是我负责的,你可别总是胡乱插手!
倪老很是尴尬。
秦锋笑了笑:“是啊,倪老,无关人等是不能带进来的,以后还有什么领导想要来参观,你们不方便推脱,就交给我,没有我的同意,他们就不能参观。”
“秦总,那些领导的面子,你也不好不给啊。”
“他们得能首先找到我……”
此时,徐教授又低头去做事了,听到倪老叫秦总,徐教授才赶紧把老花镜摘下来,看向秦锋:“秦总,你是秦总?”
徐教授说完,赶紧站了起来,热情地伸出手来:“秦总,欢迎欢迎,来咱们这里参观,你怎么不提前打招呼,我给你介绍。”
进入芯片车间,所有人的穿着都是一样的:一个大褂,从头盖到脚,还得戴着口罩,所有人都一个样,熟人可以通过眼睛和身材来辨别,如果不是很熟悉,还真不方便直接认出来。
林老在一旁感慨,自己的面子还不如秦总的面子啊!
“嗯,徐教授,你先忙吧,我记得,咱们的光刻机已经能稳定生产1微米制程的芯片了啊,你这还在捣鼓什么?”
“老倪那边的团队还没有完成芯片的设计,咱们这边的生产线已经建好了,反正也是闲着,所以咱们就打算继续改进一下,将制程提升到0.8微米。”