不用多久，经过了初步整理的资料被送到了南方光学，并陆续以各种名义分批，分批发放部分ARF光源系统的研发资料。

问就是公司机密，别问那么多。

然后南方光学在ARF光源领域的研发瞬间提速……当然，就算是提速了也不可能一下子就把成熟可用的ARF光源系统弄出来，其中不少是涉及到原料的难点，人家给的资料只是告诉你用什么材料做，材料要达到什么性能。

但是材料怎么来的……这就需要南方光学自己要么自己研发，要么满世界寻找供应商了。

“目前DUV光刻机的研发还是比较顺利的，也许今年夏天的时候我们就能够做出来第一台的样机，如果没有出现什么大问题的话，秋天的时候我们就能尝试做几台交付智云微电子那边进行测试，明年就能进行大规模量产！”

海湾科技的总经理王道林，心情很不错的出现在柳河投资的董事长办公室里，一边泡着茶一边道：“徐董你大可放心，本来我对这个DUV干式光刻机项目多少还有些信心不足，不过最近一年来各子系统的推进进展非常顺利，光源系统的南方光学已经给我打了包票，说他们最迟在六月份就交付第一套的ARF光源系统，这套光源系统是波长193纳米的，而且不是之前的那种测试用的光源，而是可以直接使用的光源！”

“北林精密的双工作台做起来虽然难一些，做起来的性能参数不如国外同类产品，但是勉强也可以用！”

“其他的几个子系统如今大多也做的差不多了，就等着光源那边搞定，然后我们就尝试搞一台样机出来了！”

徐申学面带微笑听着，时不时喝口茶：“这是大好事啊，有了这个DUV干式光刻机，那么智云半导体那边的六十五纳米工艺节点也就有了自家的光刻机可用了！”

“加油干，光刻机乃是半导体产业链里的核心设备，尽快搞出来，此外其他的一些关键设备也不能落下，记得我们的目标，不是单纯的光刻机，而是整条生产线上的关键设备。”

“能搞的都要搞，搞不了的也要强行搞，我们要的不是一台孤零零的光刻机，而是一整套的先进工艺芯片生产线，所以其他的几种关键设备也要尽快进度。”

王道林道：“明白的，我们海湾科技里的项目是非常多的，前道光刻机也只是我们公司里的其中一个重要项目而已，我们在后道光刻机领域上也进展非常快，已经大量给智云微电子乃至其他一些芯片厂商供货了，而且我们的后道光刻机技术推进非常快速，已经迭代了第三代，我们的第三代后道光刻机，甚至都可以满足三十二纳米乃至潜在更低的二十八纳米制程工艺的生产了，并且在生产效率上并不会比国外同类产品差。”

“同时我们的成本更低，售价更低，维护以及耗材费用也更低，在市场上具有很不错的竞争力。”

“甚至是一些国外的芯片工厂已经开始咨询我们，尝试采购我们的第二代或第三代后道光刻机了！”

“然后还有蚀刻机项目、离子注入机这两项关键设备，也是我们公司的重点项目，我们都已经研发出来了第一代产品，并供应给了智云微电子那边用于低制程工艺生产！”

“目前智云微电子那边的130纳米节点以上的落后工艺的多种关键设备，都已经转为采购我们海湾科技的设备了，整体来说我们的这两种设备还处于第一代，效率上差一些，故障小毛病也多，但是我们的出货价更便宜，只有进口产品的几分之一的价格，后续维护、零配件的价格也更便宜，因此算到最后的芯片生产成本上，大概能够做到和进口设备的生产线持平！”

“如今我们公司正在组织精干力量，并汇同供应商一起攻坚第二代蚀刻机以及离子注入机项目，争取年底看看能不能把第二代也弄出来，以满足六十五纳米节点工艺的生产线需求！”