要制造这么一台18吨重的光刻机，上游需要5家供应商，而且个个都是各自细分领域的王者。

所以，一台最先进的7nm节点的euv光刻机，就是一个错综复杂的顶级的产业链的产物。并且它的一台售价12亿美金！

虽然制造光刻机涉及的产业体系非常庞大，但简单来说，主要是两点。

首先，制造光刻机需要数万个零部件。

一台光刻机含有8个零件，最先进的极紫外光euv光刻机所需的零部件更是超过1万个。整机光刻机包含曝光系统（照明系统和投影物镜、工件台掩模台系统、自动对准系统、整机软件系统等。

而在这些核心部件中，光学镜头、光学光源和工件台又是核心中的核心。

高数值孔径的镜头决定了光刻机的分辨率以及套值误差能力，重要性不言而喻。euv极紫外光刻机唯一可使用的镜头由卡尔蔡司生产。

光源波长决定了光刻机的工艺能力。光刻机需要体积小、功率高而稳定的光源。如euv光刻机所采用的波长135nm的极紫外光，光学系统极为复杂。