同陈杰、喻学强和黄海涛坐下午的飞机从椰城赶回京城。
四十九岁的夏季常教授是华中大学国家光电研究所副所长,研究方向就是光刻机工作台自动化,当年是钟德伟的博士生,这次被老师邀请带着研究团队,到京城半导体设备公司参与光刻机悬浮式双工作台系统项目的联合攻关。
前世,华中大学国家光电实验室也参与步进扫描式光刻机的研发项目。
见识了夏季常教授亲自操作光刻机曝光台和测光台自动化的现场演示后,孙健才相信第一台光刻机悬浮式双工作台系统样机研制成功了!
中g科学家能力出众、潜力无限,bsec人才济济,一旦世界一流的实验室和配套工厂建成,有资金支持,重奖项目组,名利双收,必将激发项目组成员的潜力,arf准分子激光器项目、5英寸晶圆项目和光刻机新镜头项目的研制成功只是时间问题。
重生者的信心倍增。
“钟顾问辛苦了!”
孙健接见七十九名光刻机悬浮式双工作台系统项目联合攻关组成员,首先慰问攻关组副组长、年龄最大的钟德伟教授,为研制第一台光刻机双工作台系统样机立下汗马功劳。
从邓院长的口里得知,没有钟德伟教授和夏季常教授带来的科研团队,特别是夏季常团队经验丰富,带来了华中大学国家光电研究所近年来研究光刻机工作台自动化的实验数据,项目攻关组也不可能在这么短的时间内,研制成功世界第一台光刻机悬浮式双工作台系统样机。
光刻机磁悬浮双工作台系统结构复杂,涉及光刻机光源、光刻机光学系统、晶圆、磁悬浮技术、步进电动机、超精密测控装备、超精密运动系统和自动化控制系统等多个专业学科的顶尖技术成果。
“孙总,我就喜欢找点难事做做,延缓衰老。”